擴散真空泵是應(yīng)用最廣的真空空氣設(shè)備，迅達真空泵中的油擴散真空泵在國內(nèi)的生產(chǎn)、研究方面已經(jīng)達到相對的技術(shù)水平和生產(chǎn)規(guī)模，廣泛應(yīng)用與機械、電子等工業(yè)領(lǐng)域。而極限壓力和抽速是檢測擴散真空泵的能耗主要標準，以下介紹一套專門為測試其極限壓力和抽速的自動測試系統(tǒng)原理介紹。
該套測試系統(tǒng)對擴散泵的極限壓力和不同入口壓力下的抽速曲線的測試原理與方法，完全參照相關(guān)國家標準的規(guī)定執(zhí)行。其中擴散泵抽速曲線的自動檢測，采用“定壓法”原理測試。對應(yīng)每一個測壓點的測試步驟是：在工作閥開啟的條件下，利用針閥調(diào)節(jié)充入測試罩的氣體流量Q，使測試罩內(nèi)的平衡壓力p穩(wěn)定在預(yù)期的壓力值附近；關(guān)閉工作閥，依次記錄滴管內(nèi)液柱到達液位高度h1和h2的時間t1和t2；通過計算液柱凈升高度h=h2-h1和上升所需時間t=(t2-t1)，利用下式求得對應(yīng)壓力下的體積流率，即抽速。
S=Q/P=Kh/Pt
式中S---被測真空泵抽氣速率，L/s
Q---流過泵口的氣體流量，Pa·L/s
p---測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力，Pa
h---滴管內(nèi)液柱上升凈高度，mm
t---滴管內(nèi)液柱上升所需時間，s
K---滴管函數(shù)，Pa·L/mm。
根據(jù)上述公式可知：要想計算出抽速S，需要已知對應(yīng)測壓點的K、h、p和t。其中，滴管函數(shù)K可以根據(jù)不同的滴管和連接管道尺寸，結(jié)合實際的測試工況事先計算出來；因此，實際需要讀取的只有測試罩指定位置平衡壓力p、滴管內(nèi)液柱凈升高度h和液柱凈升高度h所需時間t三個量。該套測試系統(tǒng)所具有的自動測試功能，主要是指工作閥采用電磁閥自動開啟關(guān)閉；針閥完成流量調(diào)節(jié)的過程采用步進電機驅(qū)動，并根據(jù)罩內(nèi)實測壓力與預(yù)設(shè)壓力的對比進行反饋控制；利用光電液位開關(guān)測定滴管內(nèi)液位到達設(shè)定位置h1和h2高度處的時間t1和t2。整個測試過程，以及之后的抽速計算、結(jié)果輸出工作，均由計算機自動控制完成，只是在更換滴管和連接管路的過程中需要操作人員手工作業(yè)。